摘 要：该文深入探讨微电子工艺教学中的虚实融合教学模式，旨在通过构建虚拟仿真平台与微纳电子技术支撑平台，打破传统教学中对高端实验设备的依赖，实现理论教学与实践操作的深度融合。通过引入沉浸式VR技术，（试读）...
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