摘要：为了实现变压器油中溶解的乙炔气体检测，研发了一款基于Au修饰SnO2气敏薄膜的乙炔气体传感器。通过射频溅射制备SnO2薄膜，进而通过直流溅射制备Au并改变溅射时间，得到不同Au修饰量的气敏薄膜，采用微机电系统（试读）...
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