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InAs/GaSb超晶格台面刻蚀工艺研究综述-航空兵器2024年05期

InAs/GaSb超晶格台面刻蚀工艺研究综述

作者：张翔宇 蒋洞微 贺雯 王金忠 字体：小   中   大
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摘  要：      本文综述了InAs/GaSb超晶格台面刻蚀工艺研究。 从湿法和干法刻蚀的物理化学机理以及参数调控等方面进行分析， 旨在阐明工艺条件对台面形貌的影响， 以抑制带隙较窄的长（试读）...

航空兵器

2024年第05期

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