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GB/T43493.1一2023《半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第1部分:缺陷分类》等系列国家标准解读-标准科学2025年13期

GB/T43493.1一2023《半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第1部分:缺陷分类》等系列国家标准解读

作者:芦伟立 房玉龙 王波 李帅 王健 韩明睿 王启蘅 李建涛 字体:      

Interpretation of GB/T 43493.1-2023, Semiconductor device-Nondestructive recognition criteria ofdefects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices-Part 1: Classification of defects

LU (试读)...

标准科学

2025年第13期