摘 要： 薄膜型Ga2O3光电探测器具有成本低廉、性能优异、可重复性高等优点，实现Ga2O3薄膜大尺寸均匀生长对批量制备薄膜型Ga2O3光电探测器具有重要意义。为了实现大尺寸Ga2O3薄膜的高效生长，采用Matlab软件对磁控溅（试读）...
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